ダイナミックスキャン光学系光学系:1個の小型焦点レンズ、1〜2個の焦点レンズ、ガルボミラー。光学レンズ全体がビーム拡大、集束、ビーム偏向およびスキャンの機能を形成します。
拡大部は負レンズ、すなわち小焦点レンズであり、ビーム拡大と移動ズームを実現します。集光レンズは正レンズ群で構成されています。ガルバノミラーはガルバノメータシステムにおけるミラーです。
(1)レンズ設計の最適化:直径と厚さの比の最適化
(2)レンズの高損傷閾値:>30J/cm2 10ns
(3)超低吸収コーティング、吸収率:<20ppm
(4)ガルバノメータの厚さと直径の比:1:35
(5)レンズ面精度:<=λ/5
対物レンズ後部
最大入射瞳径(mm) | 光学系1直径(mm) | 光学系2 直径(mm) | 光学系3直径(mm) | スキャンフィールド (ミリメートル) | クリアアパーチャ スキャナの長さ(mm) | 波長 |
8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10.6ミクロン |
12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030~1090nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300×300 | 10 | 532nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300×300 | 10 | 355nm |
反射鏡
部品の説明 | 直径(mm) | 厚さ(mm) | 材料 | コーティング |
シリコンリフレクター | 25.4 | 3 | シリコン | HR@10.6um,視線: 45° |
シリコンリフレクター | 30 | 4 | シリコン | HR@10.6um,視線: 45° |
ファイバーリフレクター | 25.4 | 6.35 | フューズドシリカ | HR@1030-1090nm、AOI: 45° |
ファイバーリフレクター | 30 | 5 | フューズドシリカ | HR@1030-1090nm、AOI: 45° |
ファイバーリフレクター | 50 | 10 | フューズドシリカ | HR@1030-1090nm、AOI: 45° |
532 リフレクター | 25.4 | 6 | フューズドシリカ | HR@515-540nm/532nm、AOI: 45° |
532 リフレクター | 25.4 | 6.35 | フューズドシリカ | HR@515-540nm/532nm、AOI: 45° |
532 リフレクター | 30 | 5 | フューズドシリカ | HR@515-540nm/532nm、AOI: 45° |
532 リフレクター | 50 | 10 | フューズドシリカ | HR@515-540nm/532nm、AOI: 45° |
355リフレクター | 25.4 | 6 | フューズドシリカ | HR@355nm&433nm、AOI: 45° |
355リフレクター | 25.4 | 6.35 | フューズドシリカ | HR@355nm&433nm、AOI: 45° |
355リフレクター | 25.4 | 10 | フューズドシリカ | HR@355nm&433nm、AOI: 45° |
355リフレクター | 30 | 5 | フューズドシリカ | HR@355nm&433nm、AOI: 45° |
ガルボミラー
部品の説明 | 最大入射瞳径(mm) | 材料 | コーティング | 波長 |
長さ55mm×幅35mm×厚さ3.5mm 長さ62mm×幅43mm×奥行3.5mm | 30 | シリコン | MMR@10.6um | 10.6ミクロン |
長さ55mm×幅35mm×厚さ3.5mm 長さ62mm×幅43mm×奥行3.5mm | 30 | フューズドシリカ | HR@1030-1090nm | 1030~1090nm |
長さ55mm×幅35mm×厚さ3.5mm 長さ62mm×幅43mm×奥行3.5mm | 30 | フューズドシリカ | HR@532nm | 532nm |
長さ55mm×幅35mm×厚さ3.5mm 長さ62mm×幅43mm×奥行3.5mm | 30 | フューズドシリカ | HR@355nm | 355nm |
保護レンズ
直径(mm) | 厚さ(mm) | 材料 | コーティング |
75 | 3 | 亜鉛セレン | AR/AR@10.6um |
80 | 3 | 亜鉛セレン | AR/AR@10.6um |
90 | 3 | 亜鉛セレン | AR/AR@10.6um |
90x60 | 5 | 亜鉛セレン | AR/AR@10.6um |
90x64 | 2.5 | 亜鉛セレン | AR/AR@10.6um |
90x70 | 3 | 亜鉛セレン | AR/AR@10.6um |