ダイナミックスキャン光学系光学系：1個の小型焦点レンズ、1-2個の焦点レンズ、ガルバノミラー。光学レンズ全体がビーム拡大、集束、ビーム偏向および走査の機能を形成します。
拡大部分は負レンズ、つまりビーム拡大と移動ズームを実現する小さな焦点レンズであり、焦点レンズは正レンズのグループで構成されています。ガルボミラーはガルバノメーターシステムのミラーです。
(1) レンズ設計の最適化：直径と厚みの比率を最適化
(2) レンズ高損傷閾値:>30J/cm2 10ns
(3) 超低吸収コーティング、吸収率:<20ppm
(4) 検流計の厚さと直径の比: 1:35
(5) レンズ面精度:<= λ/5
後対物レンズ
| 最大入口瞳孔 (mm) | 光学系1 直径(mm) | 光学系2 直径(mm) | 光学系3 直径(mm) | スキャンフィールド (mm) | クリアアパーチャ スキャナーの長さ (mm) | 波長 |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600×600 800×800 | 30 | 10.6um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600×1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600×600 800×800 | 30 | 1030-1090nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300×300 | 10 | 532nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300×300 | 10 | 355nm |
反射鏡
| 部品の説明 | 直径(mm) | 厚さ(mm) | 材料 | コーティング |
| シリコンリフレクター | 25.4 | 3 | シリコン | HR@10.6um,葵: 45° |
| シリコンリフレクター | 30 | 4 | シリコン | HR@10.6um,葵: 45° |
| ファイバーリフレクター | 25.4 | 6.35 | 溶融シリカ | HR@1030-1090nm、AOI: 45° |
| ファイバーリフレクター | 30 | 5 | 溶融シリカ | HR@1030-1090nm、AOI: 45° |
| ファイバーリフレクター | 50 | 10 | 溶融シリカ | HR@1030-1090nm、AOI: 45° |
| 532 リフレクター | 25.4 | 6 | 溶融シリカ | HR@515-540nm/532nm、AOI: 45° |
| 532 リフレクター | 25.4 | 6.35 | 溶融シリカ | HR@515-540nm/532nm、AOI: 45° |
| 532 リフレクター | 30 | 5 | 溶融シリカ | HR@515-540nm/532nm、AOI: 45° |
| 532 リフレクター | 50 | 10 | 溶融シリカ | HR@515-540nm/532nm、AOI: 45° |
| 355 リフレクター | 25.4 | 6 | 溶融シリカ | HR@355nm&433nm、AOI: 45° |
| 355 リフレクター | 25.4 | 6.35 | 溶融シリカ | HR@355nm&433nm、AOI: 45° |
| 355 リフレクター | 25.4 | 10 | 溶融シリカ | HR@355nm&433nm、AOI: 45° |
| 355 リフレクター | 30 | 5 | 溶融シリカ | HR@355nm&433nm、AOI: 45° |
ガルボミラー
| 部品の説明 | 最大入口瞳孔 (mm) | 材料 | コーティング | 波長 |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | シリコン | MMR@10.6um | 10.6um |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | 溶融シリカ | HR@1030-1090nm | 1030-1090nm |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | 溶融シリカ | HR@532nm | 532nm |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | 溶融シリカ | HR@355nm | 355nm |
保護レンズ
| 直径(mm) | 厚さ(mm) | 材料 | コーティング |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90×60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90×70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
